MKS - Technology for Productivity
Labtech

  • Domů
  • O nás
  • Kontakty

  • Domů
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
  • průtokoměry MF1
  • průtokoměr MF1

průtokoměr MF1

Pro více informací, prosím, kontaktujte prodejce:
  • Ing. Vojtěch Kroupa
  • +420 736 473 797
  • vojtech.kroupa@labtech.eu


Technická specifikace
Full Scale Ranges10, 20, 50, 100, 200, 500, 1,000, 2,000, 5,000, 10,000, 20,000, 30,000, 50,000 sccm
(N2 equivalent)
Maximum Inlet Pressure10 bar(g) (both MFC and MFM)
Normal Operating Pressure Differential10 to 5000 sccm: 0.7 to 2.7 bar (d)
10000 to 20000 sccm: 1.0 to 2.7 bar (d)
(with atmospheric pressure at the MFC outlet)
Proof Pressure10 bar
Burst Pressure50 bar
Control Range2% to 100% of Full Scale
Measurement (Dynamic) Range1% to 100% of Full Scale
Typical Accuracy±(0.5% of reading +0.2% of Full Scale)
(with N2 calibration gas)
(including non-linearity, hysteresis and repeatability referenced to 1013 mbar and 0°C)
Repeatability±0.2% of Full Scale
Resolution0.1% of Full Scale
Temperature Coefficients
Zero<0.04% of Full Scale/°C
Span<0.08% of Reading/°C
Pressure Coefficient<0.02% of reading/psi
Controller Settling Time<800 msec (350 msec on request)
(per SEMI Guideline E17-91)
Warm-up Time~ 15 minutes
Normal Operating Temperature Range0°C to 40°C
Storage
Humidity0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
Temperature-20° to 80°C
Fittings4 VCR®
1/4 inch Swagelok®
1/8 inch Swagelok®
4 VCO®
6 mm Swagelok®
DN 16 KF
MKS Surface Mount
Leak Integrity
External<1 x 10-9 mbar l/sec (He)
(scc/sec He)
Through Closed Control Valve<1 x 10-5 mbar l/sec (He) at 1.7 bar(g) inlet to atmosphere (To assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is required)
(MFC only)
Wetted Materials
MFC, Standard1.4301 S.S. (V2A, ANSI 304), FKM, Nickel
MFC, OptionalNBR, FFKM (seals and valve seal)
Surface Finish6.3µ Rz
Weight~ 0.7 kg (1.6 lbs)
Input Voltage Required±15 VDC or +24 VDC
(20.0 to 31.5 VDC)
Maximum Supply Current300mA @ +24VDC
Analog Set Point Command SignalConfigurable:
Default: 0 to 5 VDC
Zero: 0 to 2 VDC
Full Scale: 5 to 10VDC
(Analog interface versions only)
Analog Output SignalConfigurable:
Default: 0 to 5 VDC
Zero: 0 to 2 VDC
Full Scale: 5 to 10VDC
(Analog interface versions only)
Connectors
PowerStandard Industrial Terminal, 3.81 mm pitch
(Phoenix Contact MC-series, 3.81 mm pitch)
SetupUSB Setup Interface micro-B
SignalAnalog: 9-pin D-Sub pin
Analog: 15-pin D-Sub pin
Profibus-DPV0/DPV1: 9-pin D-Sub socket
Modbus: 9-pin D-Sub socket
EtherCAT, Profinet, Modbus TCP: 2x RJ45
USB Process Interface: B
ComplianceFully CE Compliant to EMC Directive 2004/108/336/EC when used with an overall metal braided shielded cable properly grounded at both ends
Máte dotaz?
Pole označená (*) musí být vyplněna
Email
Telefon
Váš Dotaz
Tučně označené položky je nutné vyplnit.

Naše nabídka
  • Baratron® - kapacitní manometry
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
    • průtokoměry MF1
    • průtokoměry řady G
    • průtokoměry typu I
    • průtokoměry typu P
  • HPS - vakuové měrky
  • Vakuové měrky a moduly - Granville Phillips
  • PLC - Programable Logic Controler

Vakuová měrka 902 B

Novinka, Vakuová měrka 902B
Více informací

Kontaktujte nás ještě dnesV případě, že jste na našich stránkách nenalezli odpověď na Vaše otázky, neváhejte nás kontaktovat.Kontaktujte nás

LABTECH s.r.o © 2011, Polní 23/340, CZ 639 00 Brno, Tel: +420 511 110 711, Fax: +420 543 210 115, info@labtech.eu
Webdesign : SHEAN