MKS - Technology for Productivity
Labtech

  • Domů
  • O nás
  • Kontakty

  • Domů
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
  • průtokoměry typu I
  • průtokoměr IM 50 a

průtokoměr IM 50 a

Pro více informací, prosím, kontaktujte prodejce:
  • Ing. Vojtěch Kroupa
  • +420 736 473 797
  • vojtech.kroupa@labtech.eu


Technická specifikace
Full Scale Flow Ranges5 - 50000 sccm Full Scale (N2 equivalent)
(consult factory for available flow ranges)
Maximum Inlet Pressure150 psig
(cannot exceed pressure differential requirement across MFC)
Normal Operating Pressure Differential5 to 5000 sccm: 10 to 40 psid
10000 to 20000 sccm: 15 to 40 psid
30000 to 50000 sccm: 25 to 40 psid
(N2 Full Scale)
(with atmospheric pressure at the MFC outlet)
Proof Pressure1000 psig
Burst Pressure1500 psig
Control Range2% to 100% of Full Scale
(range on mech.)
Typical Accuracy±1% of setpoint for 20 to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
(with N2 calibration gas)
Repeatability±0.3% of Reading
Resolution0.1% of Full Scale
Temperature Coefficients
Zero<0.05% of Full Scale/°C
Span<0.08% of Reading/°C
Inlet Pressure Coefficient<0.02% of Reading/psi
Typical Controller Settling Time<750 msec., typical above 5% Full Scale
(per SEMI Guideline E-17-0600)
Warm-up Time<30 min
(to within 0.2% of Full Scale of steady state performance)
Operating Temperature Range10°C to 50°C (Ambient)
Storage Humidity0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
Storage Temperature-20° to 80°C (-4° to 149° F)
FittingsCompatible with Swagelok® 4 VCR® or ¼ inch Swagelok® compression seal
Leak Integrity
External<1 x 10-10
(scc/sec He)
Through Closed Valve<1.0% of Full Scale at 40 psig inlet to atmosphere
(to assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is required)
Wetted Materials
Standard316L S.S. VAR (equivalent to 316 S.S. SCQ for semiconductor quality)
316 S.S., Elgiloy®, Nickel
Valve SeatTeflon® (MFC only)
Surface FinishMFC: 10µ inch average Ra (electropolished)
MFM: 16µ inch average Ra
Analog I/O
Input Power Required+15 to +24 VDC @ (<4 watts)
Flow Input/Output Signal0 to 5 VDC
Connector15-pin Type "D" male, 9-pin Type "D" Male
Profibus® Digital I/O
Input Power Required+15 to +24 VDC (<4 watts)
Connector9 pin Type D male (power) and 9 pin Type D female (comm.)
Data Rate Switch/SelectionNo switch
Set Data Rate via Profibus®
Data RateData Rate (User Selectable)
9.6 Kbps to 12 Mbps
MAC ID Switches/AddressesStation Addresses 0,0 to 9,9
Network SizeUp to 99 nodes
Network TopologyMaster/slave
Weightless than 3 lbs (1.4kg)
Enclosure RatingIP66
ComplianceRoHS
Analog & Digital I/O CE Compliant to EMC Directive 2004/108/EC
Máte dotaz?
Pole označená (*) musí být vyplněna
Email
Telefon
Váš Dotaz
Tučně označené položky je nutné vyplnit.

Naše nabídka
  • Baratron® - kapacitní manometry
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
    • průtokoměry MF1
    • průtokoměry řady G
    • průtokoměry typu I
    • průtokoměry typu P
  • HPS - vakuové měrky
  • Vakuové měrky a moduly - Granville Phillips
  • PLC - Programable Logic Controler

Vakuová měrka 902 B

Novinka, Vakuová měrka 902B
Více informací

Kontaktujte nás ještě dnesV případě, že jste na našich stránkách nenalezli odpověď na Vaše otázky, neváhejte nás kontaktovat.Kontaktujte nás

LABTECH s.r.o © 2011, Polní 23/340, CZ 639 00 Brno, Tel: +420 511 110 711, Fax: +420 543 210 115, info@labtech.eu
Webdesign : SHEAN