MKS - Technology for Productivity
Labtech

  • Domů
  • O nás
  • Kontakty

  • Domů
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
  • průtokoměry typu I
  • průtokoměr IM 250 A

průtokoměr IM 250 A

Pro více informací, prosím, kontaktujte prodejce:
  • Ing. Vojtěch Kroupa
  • +420 736 473 797
  • vojtech.kroupa@labtech.eu


Technická specifikace
Full Scale Flow Ranges100 to 250 slm (N2 equivalent)
Maximum Inlet Pressure150 psig
(cannot exceed pressure differential requirement across MFC)
Normal Operating Pressure Differential25 to 45 psid
Proof Pressure1000 psig
Burst Pressure1500 psig
Control Range2% to 100% of Full Scale
(range on mech.)
Typical Accuracy±1% of setpoint for > 20 to 100% Full Scale
±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
Repeatability±0.3% of Reading
Resolution0.1% of Full Scale
Temperature Coefficients
Zero<0.05% of Full Scale/°C
Span<0.08% of Reading/°C
Inlet Pressure Coefficient<0.02% of Reading/psi
Typical Controller Settling Time<3 sec typical above 10% Full Scale @ 50 psi
(per SEMI Guideline E-17-0600)
Warm-up Time<30 min
(to within 0.2% of Full Scale of steady state performance)
Operating Temperature Range10°C to 50°C (Ambient)
Storage Humidity0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
Storage Temperature-20° to 80°C (-4° to 149° F)
Temperature Display0 to 85°C
Temperature Readout Units°C
Temperature Accuracy±2°C
Temperature Resolution0.1°C
FittingsCompatible with Swagelok® 8 VCR®
Leak Integrity
External<1 x 10-10
(scc/sec He)
Through Closed Valve<1.0% of Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr)
(to assure no flow-through, a separate positive shut-off valve is required)
Wetted Materials316L S.S. VAR (equivalent to 316 S.S. SCQ for semiconductor quality)
316 S.S., Elgiloy, 430FR, Buna-N, nickel, polyimide
(standard)
Surface Finish10µ inch average Ra
Analog I/O
Input Power Required+15 to +24 VDC @ (<4 watts)
Flow Input/Output SignalVoltage (0 to 5 VDC)
Current (4 to 20 mA)
Connector15-pin Type "D" male
Weightless than 3 lbs (1.4kg)
Enclosure RatingIP66
ComplianceRoHS
Analog & Digital I/O CE Compliant to EMC Directive 2004/108/EC
Máte dotaz?
Pole označená (*) musí být vyplněna
Email
Telefon
Váš Dotaz
Tučně označené položky je nutné vyplnit.

Naše nabídka
  • Baratron® - kapacitní manometry
  • MFC a MFM - Hmotnostní průtokoměry pro měření a řízení průtoku
    • průtokoměry MF1
    • průtokoměry řady G
    • průtokoměry typu I
    • průtokoměry typu P
  • HPS - vakuové měrky
  • Vakuové měrky a moduly - Granville Phillips
  • PLC - Programable Logic Controler

Vakuová měrka 902 B

Novinka, Vakuová měrka 902B
Více informací

Kontaktujte nás ještě dnesV případě, že jste na našich stránkách nenalezli odpověď na Vaše otázky, neváhejte nás kontaktovat.Kontaktujte nás

LABTECH s.r.o © 2011, Polní 23/340, CZ 639 00 Brno, Tel: +420 511 110 711, Fax: +420 543 210 115, info@labtech.eu
Webdesign : SHEAN